Запис Детальніше

Особливості калібрування геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на різних РЕМ

Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Особливості калібрування геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на різних РЕМ
Особенности калибровки геометрических искажений цифровых РЭМ-изображений, полученных на разных РЭМ
Features Calibration of geometric distortion of digital SEM images obtained at different SEM
 
Creator Іванчук, О.
 
Subject тест-об’єкт
растровий електронний мікроскоп (РЕМ)
геометричні спотворення цифрових РЕМ-зображень
калібрування
апроксимація
 
Description Наведено результати досліджень геометричних
спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на
чотирьох різних РЕМ у діапазоні збільшень від
М = 1000х до М = 10000х. Акцентовано увагу на
особливостях запису цифрових РЕМ-зображень для
різних РЕМ, встановленні їх реальних фізичних
розмірів, урахування яких дає можливість коректно
визначати та враховувати як лінійні (масштабні)
спотворення (ΔМ = ±3 %), так і нелінійні спотворення
геометрії РЕМ-знімків (до ±1,5 мм або ± 15 пікселів)
за розмірів зображення 12090 мм. Найефективнішим
методом їх врахування є метод поліноміальної апроксимації, після якої їх залишкові значення не пере-
вищують ±0,3 мм (±3 піксели). Це дає змогу отримувати просторові кількісні параметри мікроповерхонь
дослідних об’єктів з високою точністю, зокрема у разі
збільшення (масштабу) зображень М = 1000х: mx = my =
= 0,1–0,3 мкм, mh(Z) = 1–1,5 мкм, а якщо М = 25000х –
– mx = my = 0,005–0,01 мкм, mh(Z) = 0,1–0,2 мкм.
Приведены результаты исследований геометрических искажений цифровых РЭМ-изображений,
полученных на четырех разных РЭМ в диапазоне
увеличений от М = 1000х до М = 10000х. Акцентировано внимание на особенностях записи цифровых
РЭМ-изображений для разных РЭМ, определении их
реальных физических размеров, учет которых дает
возможность корректно определять как линейные
(масштабные) искажения (ΔМ = ±3 %), так и нелинейные искажения геометрии РЭМ-снимков (до ± 1,5 мм
или ± 15 пикселей) при размере зображений 12090 мм.
Наиболее эффективным методом их учета является
метод полиномиальной аппроксимации, после чего их
остаточные значения не превышают ± 0,3 мм
(± 3 пиксела). Это позволяет получать пространственные количественные параметры микроповерхностей исследуемых объектов с высокой точностью,
в частности, при увеличении (масштабе) изображений
М = 1000х: mx = my = 0,1–0,3 мкм, mh(Z) = 1–1,5 мкм,
а при М = 25000х – mx = my = 0,005–0,01 мкм,
mh(Z) = 0,1–0,2 мкм.
The results of studies of geometric distortion of
digital SEM images obtained in 4 different SEM
magnification range from M=1000h up to M=10000h. The
attention is focused on the features of digital recording
SEM images for different SEM, to determine their actual
physical size, which makes it possible to account defined
as linear (large-scale) distortion (ΔM = ± 3 %), and nonlinear
distortion geometry SEM pictures (up to ± 1,5 mm
or ± 15 pixels) The image at the size of 12090 mm. The
most effective method is a method of accounting
polynomial approximation, after which their residual
values does not exceed ± 0,3 mm (± 3 pixels). This allows
for quantitative spatial parameters microsurface researched
objects with high accuracy, in particular by
increasing the (scale) image of M = 1000h: mx = my =
= 0,1–0,3 mkm, mh(Z) = 1–1,5 mkm, аnd when М = 25000h –
– mx = my = 0,005–0,01 mkm, mh(Z) = 0,1–0,2 mkm.
 
Date 2015-05-05T08:02:13Z
2015-05-05T08:02:13Z
2015
 
Type Article
 
Identifier Іванчук О. Особливості калібрування геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на різних РЕМ / О. Іванчук // Сучасні досягнення геодезичної науки та виробництва : збірник наукових праць Західного геодезичного товариства УТГК / Західне геодезичне товариство Українського товариства геодезії і картографії, Національний університет "Львівська політехніка" ; головний редактор І. С. Тревого. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2015. – Випуск 1 (29). – С. 168–173. – Бібліографія: 17 назв.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/27290
 
Language ua
 
Publisher Видавництво Львівської політехніки