Методологічні основи синтезу багатовимірних систем керування технологічним процесом підготовки напівпровідникових підкладок
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Методологічні основи синтезу багатовимірних систем керування технологічним процесом підготовки напівпровідникових підкладок
Methodological foundations of synthesis multivariate process control systems preparation semiconductor substrates |
|
| Creator |
Бубліченко, Сергій
|
|
| Description |
The purpose of this paper is to solve the problems associated with the development methodology of synthesis of adaptive control systems of nonlinear dynamic objects cutting ingots semiconductor and other functional materials for the preparation of thin plate substrates for micro- and nanoelectronic devices that operate in uncertainty. |
|
| Date |
2015-06-17T11:18:46Z
2015-06-17T11:18:46Z 2013 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Бубліченко С. Методологічні основи синтезу багатовимірних систем керування технологічним процесом підготовки напівпровідникових підкладок / Сергій Бубліченко // 11-й міжнародний симпозіум українських інженерів-механіків у Львові : тези доповідей,15–17 травня 2013 року, Львів / Національний університет «Львівська політехніка» [та інші]. – Львів : КІНПАТРІ ЛТД, 2013. – С. 156.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/28572 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
КІНПАТРІ ЛТД
|
|