Аналіз доцільності побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Аналіз доцільності побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах
|
|
| Creator |
Матвійків, М. Д.
Лобур, М. В. Теслюк, В. М. Матвійків, Т. М. |
|
| Description |
Проаналізовано доцільність побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем (МЕМСів) на активних напівпровідникових елементах–діодах та транзисторах. Analyzed expediency the structure of the microelectromechanical systems (MEMS) sensors on the active semiconductors - diodes and the transistors. |
|
| Date |
2015-12-21T13:43:44Z
2015-12-21T13:43:44Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Аналіз доцільності побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах / М. Д. Матвійків, М. В. Лобур, В. М. Теслюк, Т. М. Матвійків // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2006. – № 557 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 20.-24. - Бібліографія: 3 назви
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/30730 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
|
|