Тензорезистивні сенсори тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію дляширокого діапазону температур
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Тензорезистивні сенсори тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію дляширокого діапазону температур
Piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers for the wide temperature range |
|
| Creator |
Дружинін, А. О.
Кутраков, О. П. Мар’ямова, І. Й. |
|
| Subject |
тензорезистивні сенсори тиску
ниткоподібні кристали piezoresistive pressure sensore sensors whiskers |
|
| Description |
Проведено комплексні дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних сенсорів тиску на основі ниткоподібних кристалів кремпію, працездатних в умовах кріогенних та високих температур. В основу конструкції сенсора покладено систему мембрана – шток – балка з універсальним тензомодулем. Наведено вихідні характеристики розроблених сенсорів. Complex studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors on the basis of silicon whiskers operating at cryogenic and high temperatures were carried out. The sensor’s design is based on the diaphragm – rod – beam system with the universal strain unit. Output characteristics of the developed sensors are presented. |
|
| Date |
2015-11-30T10:29:54Z
2015-11-30T10:29:54Z 2011 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Дружинін А. О. Тензорезистивні сенсори тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію дляширокого діапазону температур / А. О. Дружинін, О. П. Кутраков, І. Й. Мар’ямова// Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2011. – № 708 : Електроніка. – С. 55–64. – Бібліографія: 8 назв.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/30340 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
Видавництво Львівської політехніки
|
|