Вимірювання контакних опорів елементів інтегральних систем
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Вимірювання контакних опорів елементів інтегральних систем
|
|
| Creator |
Пеленський, Роман Андрійович
Гамола, Орест Євгенович |
|
| Description |
Запропоновано метод контролю омічного опору елементів інтегральних схем під час технологічного процесу їх виготовлення. Розроблено методи лінеаризації характеристик схем для їх роботи з цифровими вихідними приладами. Виготовлено експериментальні взірці автоматичного і напівавто¬матичного приладів для вимірювання контактних опорів елементів інтеграль¬них схем. A method of checking contact resistance values of the integral schemes elements in the course of the technological process of their manufacture has been suggested. A framework for the linearization of the schemes characteristics for their work with the digital exit devices has been worked out. Experimental samples of automated and semiautomated devices for ganging contact resistance of the integral schemes elements have been elaborated. |
|
| Date |
2015-12-23T10:15:39Z
2015-12-23T10:15:39Z 2015-12-21 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Пеленський Р.А. Вимірювання контакних опорів елементів інтегральних систем / Р.А. Пеленський, О.Є Гамола // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2003. – № 475 : Автоматика, вимірювання та керування. – С. 170–176. – Бібліографія: 5 назв.
УДК 537.213 http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/30883 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
Національний університет "Львівська політехніка"
|
|