Лазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхем
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Лазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхем
|
|
| Creator |
Дорош, Н. В.
Кучмій, Г. Л. Смеркло, Л . М. Горбулик, В. І. |
|
| Description |
Проаналізовано методи лазерно-стимульованого осадження тонких плівок та наведено оптимальні режими лазерного осадження міді та нікелю. In a paper the methods of laser-induced precipitation of thick film were carried out. The optimal regimes of laser precipitation of copper and nickel were presented.
|
|
| Date |
2016-01-28T12:00:22Z
2016-01-28T12:00:22Z 2004 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Лазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхем / Н. В. Дорош, Г. Л. Кучмій, Л. М. Смеркло , В. І. Горбулик // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 512 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 98–101. – Бібліографія: 2 назви.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/31151 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
|
|