Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга
|
|
| Creator |
Шандра, З. А.
|
|
| Description |
Подано результати моделювання напилення тонких плівок в комірці Пеннінга з секційним анодом, визначено вплив геометрії пристрою розпилення на рівномірність плівок по товщині. In this work give the optimization of sputtered film thickness distribution on planar surfaces results for Penning’s cell.
|
|
| Date |
2016-01-28T12:04:50Z
2016-01-28T12:04:50Z 2004 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Шандра З. А.Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга / З. А. Шандра // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 512 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 82–86. – Бібліографія: 6 назв.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/31152 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
|
|