Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si
Цифровой репозитарии Национального технического университета "Харьковский политехнический институт" (eNTUKhPIIR)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si
|
|
| Creator |
Севрюкова, Виктория Анатольевна
Зубарев, Евгений Николаевич Кондратенко, Валерий Владимирович Першин, Юрий Павлович Цебенко, В. О. |
|
| Subject |
аморфное состояние
кластер межфазные границы кристаллизация просвечивающая электронная микроскопия рентгеновская дифрактометрия |
|
| Date |
2014-03-13T12:23:35Z
2014-03-13T12:23:35Z 2011 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si / В. А. Севрюкова [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 102-114.
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4743 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины
|
|