Структура, субструктура и физико-механические свойства многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных методом вакуумно-дугового испарения
Цифровой репозитарии Национального технического университета "Харьковский политехнический институт" (eNTUKhPIIR)
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Структура, субструктура и физико-механические свойства многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных методом вакуумно-дугового испарения
|
|
Creator |
Соболь, Олег Валентинович
Пинчук, Наталья Владимировна Постельник, Анна Александровна Дума, Евгений Александрович Мейлехов, Андрей Александрович |
|
Subject |
вакуумно-дуговой метод
CrN TiN вакуумная дуга ионизация многослойные покрытия потенциал смещения процесс осаждения |
|
Date |
2015-11-25T09:09:13Z
2015-11-25T09:09:13Z 2015 |
|
Type |
Thesis
|
|
Identifier |
Структура, субструктура и физико-механические свойства многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных методом вакуумно-дугового испарения / О. В. Соболь [и др.] // Тези доп. 23-ї Міжнар. наук.-практ. конф. "Інформаційні технології : наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я" (MicroCAD–2015), 20-22 травня 2015 р. / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2015. – С. 352.
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/18398 |
|
Language |
ru
|
|
Publisher |
НТУ "ХПИ"
|
|