Спосіб отримання тонких плівок оксиду алюмінію, які містять наноструктурований триоксид вольфраму
Цифровой репозитарии Национального технического университета "Харьковский политехнический институт" (eNTUKhPIIR)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Спосіб отримання тонких плівок оксиду алюмінію, які містять наноструктурований триоксид вольфраму
|
|
| Creator |
Байрачний, Борис Іванович
Ляшок, Лариса Василівна Токарєва, Ірина Анатоліївна Сьомкіна, Олена Володимирівна |
|
| Subject |
патенти
корисна модель нанотехнології плівки наноструктури напівпровідників оксид алюмінія триоксид вольфраму композитні матеріали |
|
| Description |
Спосіб отримання тонких плівок оксиду алюмінію, які містять наноструктурований триоксид вольфраму включає одержання поруватих оксидних плівок шляхом двостадійного анодування алюмінію з подальшим заповненням пор матриці. Заповнення пор проводять просоченням у розчині вольфрамату амонію з подальшим сушінням зразків та термічним розкладом солі до триоксиду вольфраму при температурі 450-500 °C протягом 30-40 хв.
|
|
| Date |
2015-11-27T11:58:54Z
2015-11-27T11:58:54Z 2012 |
|
| Type |
Technical Report
|
|
| Identifier |
Пат. 73012 Україна, МПК (2012.01) B82B 3/00, H01L 21/20 (2006.01). Спосіб отримання тонких плівок оксиду алюмінію, які містять наноструктурований триоксид вольфраму [Текст] / Б. І. Байрачний, Л. В. Ляшок, І. А. Токарєва, О. В. Сьомкіна ; Нац. тех. ун-т "Харківський політехнічний інститут". – № u201201395 ; заяв. 10.02.2012 ; публ. 10.09.2012, Бюл. № 17. – 4 с.
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/18470 |
|
| Language |
uk
|
|
| Publisher |
ДП "Український інститут промислової власності"
|
|