Компьютерное моделирование формирования поверхности тонких плёнок кинетическим методом Монте-Карло
Цифровой репозитарии Национального технического университета "Харьковский политехнический институт" (eNTUKhPIIR)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Компьютерное моделирование формирования поверхности тонких плёнок кинетическим методом Монте-Карло
|
|
| Creator |
Куц, С. С.
Куценко, Александр Сергеевич Марченко, И. И. |
|
| Subject |
физическое вакуумное осаждение
процессы диффузии эффект затенения модель осаждения плёнок процессы атомарного осаждения |
|
| Description |
В работе разработана модель осаждения тонких плёнок, основанная на методе кинетического Монте-Карло. Предложенный алгоритм учитывает процессы диффузии по адатомным узлам кристаллической решетки, а также эффект затенения осаждаемых атомов неровностями рельефа поверхности. Проведенные расчеты показывают хорошее согласие с имеющимися экспериментальными результатами.
We developed a model of deposition of thin films based on the method of kinetic Monte Carlo. The proposed algorithm takes into account the processes of diffusion adatomnym lattice sites, as well as the effect of shadowing of the deposited atoms by the roughness of the surface relief. The simulations are in a good agreement with available experimental results. |
|
| Date |
2015-12-11T12:44:16Z
2015-12-11T12:44:16Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Куц С. С. Компьютерное моделирование формирования поверхности тонких плёнок кинетическим методом Монте-Карло / С. С. Куц, А. С. Куценко, И. И. Марченко // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Системный анализ, управление и информационные технологии. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2010. – № 9. – С. 93-99.
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/18808 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
НТУ "ХПИ"
|
|