Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення
Устройство для определения окончания процесса плазменного травления Device for determination of the plasma etching process end |
|
| Creator |
Кравченко, Сергій Юрійович
Кравченко, Юрій Степанович Мандзюк, Оксана Миколаївна Осадчук, Володимир Степанович Кравченко, Сергей Юрьевич Кравченко, Юрий Степанович Мандзюк, Оксана Николаевна Осадчук, Владимир Степанович Kravchenko, Serhii Yuriiovych Kravchenko, Yurii Stepanovych Mandziuk, Oksana Mykolaivna Osadchuk, Volodymyr Stepanovych |
|
| Subject |
G01N 21/00
електронна техніка процес плазмового травлення контроль плазмових процесів |
|
| Description |
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, три біполярних транзистора, п'ять резисторів, дві ємності і одне джерело постійної напруги. Фотоперетворювач містить друге джерело постійної напруги і індуктивність.
Устройство для определения момента окончания процесса плазменного травления содержит лазер как источник света, конденсор, поворотное зеркало, диафрагму и плазменный реактор с пластинками (образцами), оптическим окном для ввода и вывода оптического излучения, фотопреобразователем, который содержит фоторезистор, три биполярных транзистора, пять резисторов, две емкости и один источник постоянного напряжения. Фотопреобразователь содержит второй источник постоянного напряжения и индуктивность. A device for determination of the instant of the of plasma etching process end comprises a laser as a source of light, condenser, rotary mirror, diaphragm and plasma reactor with plates (samples), optical window for inlet and outlet of optical radiation, photo-transducer that comprises a photo-resistor, three bipolar transistors, five resistors, two vessels and one direct voltage source. The photo-transducer comprises a second direct voltage source and an inductance. |
|
| Date |
2015-08-31T09:01:11Z
2015-08-31T09:01:11Z 2012-08-10 |
|
| Type |
Patent
|
|
| Identifier |
72328
Пат. 72328 UA, МПК G01N 21/00. Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення [Текст] / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, О. М. Мандзюк, В. С. Осадчук (Україна). - № u201202355 ; заявл. 28.02.2012 ; опубл. 10.08.2012, Бюл. № 15. - 5 с. : кресл. http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/1664 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Publisher |
Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)
|
|