Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова
Способ плазменного травления оптически прозрачных пленок оксида индия и олова Plasma etching method for optically transparent films of indium and tin oxides |
|
| Creator |
Кравченко, Юрій Степанович
Плахотнюк, Максим Миколайович Кравченко, Юрий Степанович Плахотнюк, Максим Николаевич Kravchenko, Yurii Stepanovych Plakhotniuk, Maksym Mykolaiovych |
|
| Subject |
H01L 21/306
хлоровуглецева плазма спосіб плазмового травлення формування напівпровідникових структур електронна техніка оксид олова оксид індію |
|
| Description |
Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова належить до електронної техніки і може бути використаний в мікроелектронній технології при формуванні напівпровідникових структур на основі оксидів олова та індію.
Способ плазменного травления оптически прозрачных пленок оксида индия и олова относится к электронной технике и может быть использован в микроэлектронной технологии при формировании полупроводниковых структур на основе оксидов олова и индия. A plasma etching method for optically transparent films of indium and tin oxides relates to electronic engineering and can be used in microelectronic technique at forming semitransparent structures on the base of indium and tin oxides. |
|
| Date |
2015-09-16T11:31:47Z
2015-09-16T11:31:47Z 2007-04-25 |
|
| Type |
Patent
|
|
| Identifier |
22675
Пат. 22675 UA, МПК H01L 21/306. Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова [Текст] / Ю. С. Кравченко, М. М. Плахотнюк (Україна). - № u200613072 ; заявл. 11.12.2006 ; опубл. 25.04.2007, Бюл. № 5. - 2 с. : кресл. http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/1835 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Publisher |
Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)
|
|