Запис Детальніше

Теплові ефекти при взаємодії потужного лазерного випромінювання з поверхнею напівпровідникових матеріалів

Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Теплові ефекти при взаємодії потужного лазерного випромінювання з поверхнею напівпровідникових матеріалів
 
Creator Семчук, О. Ю.
Гаврилюк, О. О.
 
Subject лазерне випромінювання
температура
напівпровідник
лазер-індукованіструктури
поверхня
наноструктури
абляція
лазерное излучение
температура
поверхность
полупроводник
лазериндуцированные структуры
наноструктуры
абляция
laser irradiations
temperature
surface
semiconductor
laser-induced structure
nanostructure
ablation
 
Description Досліджено процес розігріву поверхні твердого тіла кількома лазерними пучками, що створюють на його поверхні одно– та двомірну інтерференційні картини. Показано, що за допомогою інтенсивного лазерного випромінювання можна проводити мікро–нано структурування поверхні напівпровідників. Встановлено, що фемтосекундними лазерними імпульсами можна ефективно прогрівати зразки кристалічного кремнію товщиною до 20 мкм.
Ключові слова: лазерне випромінювання, температура, напівпровідник, лазер-індуковані структури, поверхня, наноструктури, абляція.
The process of warming-up of surface of solid a few laser beams formative on his surface one and two-dimensional interference pattern is investigated. It is shown that by means of intensive laser radiation it is possible to produce` the surface structures of semiconductors. It is set that femtosecond laser pulse it is possible effectively to heat of crystalline silicon laser in thick to 20 µm.
 
Date 2016-01-15T13:56:24Z
2016-01-15T13:56:24Z
2013-10-11
 
Type Article
 
Identifier Семчук, О. Ю. Теплові ефекти при взаємодії потужного лазерного випромінювання з поверхнею напівпровідникових матеріалів [Текст] / О. Ю. Семчук, О. О. Гаврилюк // Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї. - 2012. - № 2. - С. 127-137.
2311-2662
1681-7893
http://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/282
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/3288
535:537:539:546
 
Language uk_UA
 
Publisher ВНТУ