Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур
|
|
| Creator |
Кравченко, С. Ю.
Кравченко, Ю. С. Осадчук, В. С. |
|
| Subject |
контроль
багатоканальні системи спектр випромінювання плазма мікропроцесорні системи частотні перетворювачі |
|
| Description |
Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах.
Рассмотрены вопросы повышения эффективности контроля плазмохимических процессов травления микроструктур за счет введения многоканальных систем регистрации и обработки спектра собственного излучения неравновесной плазмы. Проанализированы принципы построения таких систем и перспективы их использования в технологических условиях. The problems of improving effective control of plasma etching of microstructures due to the introduction of multichannel systems of recording and processing of the own emission spectrum of a nonequilibrium plasma are considered. The principles of construction of such systems and the prospects for their use in technological terms are analyzed. |
|
| Date |
2016-01-15T14:02:49Z
2016-01-15T14:02:49Z 2013-10-21 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Кравченко, С. Ю. Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур [Текст] / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї. - 2011. - № 1. - С. 127-135.
2311-2662 1681-7893 http://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216 http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/3349 621.382 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Publisher |
ВНТУ
|
|