Побудова моделі п’єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Побудова моделі п’єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів
|
|
| Creator |
Філімонов, С. О.
|
|
| Subject |
нанотехнологія
зондовий наномікроскоп п’єзокерамічний сканер FemLab |
|
| Description |
Стаття присвячена проблемам створення п’єзосканерів. Запропонована і досліджена конструкція п’єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів. Побудована і досліджена модель цього сканера за допомогою пакету програми FemLab 3.2. Аннотация: Статья посвящена проблемам создания пьезосканеров. Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе биморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель этого сканера при помощи пакета программы FemLab 3.2. Статья посвящена проблемам создания пьезосканеров. Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе биморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель этого сканера при помощи пакета программы |
|
| Date |
2016-01-15T14:17:28Z
2016-01-15T14:17:28Z 2013-11-13 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Філімонов, С. О. Побудова моделі п’єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів [Текст] / С. О. Філімонов // Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї. - 2008. - № 2. - С. 126-129.
2311-2662 1681-7893 http://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/51 http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/3510 681.586 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Publisher |
ВНТУ
|
|