Багатоканальна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Багатоканальна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми
Multichannel recording system of the emission spectrum of nonequilibrium plasma Многоканальная система регистрации спектра излучения неравновесной плазмы |
|
| Creator |
Білилівський, В. М.
Кравченко, С. Ю. Кравченко, Ю. С. Осадчук, В. С. |
|
| Description |
На базі мікроконтролера РІС16F877A розроблена мікропроцесорна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми для контролю плазмохімічних процесів. Система дозволяє проводити одночасну обробку даних від чотирьох незалежних джерел інформації та візуалізувати цільовий процес плазмового травлення мікроструктур.
На базе микроконтроллера РІС16F877A разработана микропроцессорная система регистрации спектра излучения неравновесной плазмы для контроля плазмохимических процессов. Система позволяет проводить одновременную обработку данных от четырех независимых источников информации и визуализировать целевой процесс плазменного травления микроструктур. On the basis of the microcontroller RІS16F877A microprocessor system of registration of the emission spectrum of nonequilibrium plasma is designed to control plasma-chemical processes. The system allows simultaneous processing of data from four independent sources of information and visualize the target process of plasma etching of microstructures. |
|
| Date |
2016-01-26T15:33:06Z
2016-01-26T15:33:06Z 2010-11-12 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Багатоканальна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми [Текст] / В. М. Білилівський, С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Вісник Вінницького політехнічного інституту. - 2011. - № 4. - С. 169-172.
1997-9274 1997-9266 http://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/1502 http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/6332 621.382 1 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Publisher |
ВНТУ
|
|