Підготовка процесу відновлення трихлорсилану воднем
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Підготовка процесу відновлення трихлорсилану воднем
Process for trichlorosilane (tcs) hydrogen recovery implementation Подготовка процесса восстановления трихлорсилана водородом |
|
| Creator |
Реков, Ю. В.
Червоний, І. Ф. |
|
| Description |
Оцінені енергетичні та електричні параметри попереднього нагрівання кремнієвих прутків-підкладок задля генерації носіїв заряду і забезпечення необхідної провідності кремнію при виробництві високочистого полікристалічного кремнію. Обґрунтована доцільність використання легованих кремнієвих прутків-підкладок для виробництва полікристалічного кремнію із заданим рівнем концентрації легувальної домішки з метою підвищення продуктивності виробництва та зниження собівартості полікристалічного кремнію.
Оценены энергетические и электрические параметры предварительного нагревания кремниевых прутков-подкладок для генерации носителей заряда и обеспечения необходимой проводимости кремния при производстве высокочистого поликристаллического кремния. Обоснована целесообразность использования легированных кремниевых прутков-подкладок для производства поликристаллического кремния с заданным уровнем концентрации легирующей примеси с целью повышения производительности производства и снижения себестоимости поликристаллического кремния. The results of theoretical studies on the pre-heated rod-substrates to generate their own carriers and provide the necessary conductivity of silicon in the production of high-purity polycrystalline silicon are suggested in the paper. The usage of alloy rod-substrates for the production of polycrystalline silicon with the given level of concentration of the dopant is considered. |
|
| Date |
2016-01-26T16:13:38Z
2016-01-26T16:13:38Z 2014-02-06 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Реков Ю. В. Підготовка процесу відновлення трихлорсилану воднем [Текст] / Ю. В. Реков, І. Ф. Червоний // Вісник Вінницького політехнічного інституту. - 2013. - № 5. - С. 26-31.
1997-9274 1997-9266 http://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/1028 http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/6663 621.315.592 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Publisher |
ВНТУ
|
|