Запис Детальніше

Підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю в плазмовій технології

Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю в плазмовій технології
Повышение эффективности эмиссионно-спектрального контроля в плазменной технологии
Improved spectral emission-control technology in plasma
 
Creator Кравченко, Ю. С.
Селецька, О. О.
Селецкая, Е. А.
Кравченко, Ю. С.
Seletska, O. O.
Kravchenko, Y. S.
 
Subject мікро- та наноелектроніка
плазмохімічні процеси
часотний перетворювач
емісійно-спектральний
контроль
микро- и наноэлектроника
плазмохимических процессов
частотный преобразователь
эмиссионно-спектральный контроль
micro- and nanoelectronics
plasma chemical processes
frequency converter
emission-spectral control
 
Description В роботі запропоновано підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю за таких умов
можливе за рахунок спрощення структури контролюючих приладів і використання в якості інформаційного сигналу інтегрального власного випромінювання
декількох спектральних ліній або смуг продуктів розкладання основної молекули
плазмоутворюючого газу.
В работе предложено повышение эффективности эмиссионно-спектрального контроля в таких условиях
возможно за счет упрощения структуры контролирующих приборов и использование в качестве информационного сигнала интегрального собственного излучения
нескольких спектральных линий или полос продуктов разложения основной молекулы
плазмообразующего газа.
In work the efficiency of emission-spectral control under these conditions
possible by simplifying the structure of control devices and used as an information signal integrated natural radiation
several spectral lines or bands of degradation products of basic molecules
plasma gas.
 
Date 2016-03-01T10:49:37Z
2016-03-01T10:49:37Z
2015
 
Type Thesis
 
Identifier Кравченко Ю. С. Підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю в плазмовій технології [Текст] / Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Новітні наукові досягнення : ХІ міжнародна наукова практична конференція. – Софія, 17-25 березня 2015 р. – Софія : „Бял ГРАД-БГ”, 2015.- С. 40-44.
978-966-8736-05-6
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/9000
 
Language uk_UA
 
Publisher "Бял ГРАД-БГ" ООД