Підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю в плазмовій технології
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю в плазмовій технології
Повышение эффективности эмиссионно-спектрального контроля в плазменной технологии Improved spectral emission-control technology in plasma |
|
Creator |
Кравченко, Ю. С.
Селецька, О. О. Селецкая, Е. А. Кравченко, Ю. С. Seletska, O. O. Kravchenko, Y. S. |
|
Subject |
мікро- та наноелектроніка
плазмохімічні процеси часотний перетворювач емісійно-спектральний контроль микро- и наноэлектроника плазмохимических процессов частотный преобразователь эмиссионно-спектральный контроль micro- and nanoelectronics plasma chemical processes frequency converter emission-spectral control |
|
Description |
В роботі запропоновано підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю за таких умов можливе за рахунок спрощення структури контролюючих приладів і використання в якості інформаційного сигналу інтегрального власного випромінювання декількох спектральних ліній або смуг продуктів розкладання основної молекули плазмоутворюючого газу. В работе предложено повышение эффективности эмиссионно-спектрального контроля в таких условиях возможно за счет упрощения структуры контролирующих приборов и использование в качестве информационного сигнала интегрального собственного излучения нескольких спектральных линий или полос продуктов разложения основной молекулы плазмообразующего газа. In work the efficiency of emission-spectral control under these conditions possible by simplifying the structure of control devices and used as an information signal integrated natural radiation several spectral lines or bands of degradation products of basic molecules plasma gas. |
|
Date |
2016-03-01T10:49:37Z
2016-03-01T10:49:37Z 2015 |
|
Type |
Thesis
|
|
Identifier |
Кравченко Ю. С. Підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю в плазмовій технології [Текст] / Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Новітні наукові досягнення : ХІ міжнародна наукова практична конференція. – Софія, 17-25 березня 2015 р. – Софія : „Бял ГРАД-БГ”, 2015.- С. 40-44.
978-966-8736-05-6 http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/9000 |
|
Language |
uk_UA
|
|
Publisher |
"Бял ГРАД-БГ" ООД
|
|