Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
|
|
| Creator |
Кунченко, Ю.В.
Кунченко, В.В. |
|
| Description |
Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод – подложка. В качестве примера рассматривается процесс формирования многослойного покрытия на основе нитридов титана и хрома. Надаються розрахункові формули й на їхній підставі аналіз розподілу швидкостей конденсації потоків речовини, які генеруються вакуумно-дуговым джерелом, товщини покриттів, а також характеру формованих шаруватих структур залежно від геометрії системи катод – підкладка. Як приклад розглядається процес формування бгатошарового покриття на основі нітридів титану й хрому. Analysis of speed distribution of matter flows condensation, which are generated by vacuum-arc source, analyses of covering thickness, as well as the nature of formed layered structures depending on geometry of the system “cathode-substrate” are carried out on the basis of calculation formula given in the present work. Formation process of multi-layer covering on the basis of Ti and Cr nitrides is considered as an example. |
|
| Date |
2016-04-17T17:23:04Z
2016-04-17T17:23:04Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98763 621.793.14; 621.793.184 – 94.001.24 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Физическая инженерия поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|