Установка для осаждения материалов из газовой фазы
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы
|
|
| Creator |
Корж, А.Ф.
Лонин, Ю.Ф. Пилипец, Ю.О. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. |
|
| Description |
Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора. Розроблена установка для газо фазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних параметрів потоку пара газової суміші в реакційному об‘ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Дослідженні процеси осадження вольф-раму та карбіду бора. The installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas mixture flow in the reaction volume by fowaround of the surface being coated are evaluated. The processes of tungsten and boron carbide deposition are investigated. |
|
| Date |
2016-04-17T22:03:27Z
2016-04-17T22:03:27Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы / А.Ф. Корж, Ю.Ф. Лонин, Ю.О. Пилипец, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 98–100. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98819 669.094.54:661.87.621:661.668 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Физическая инженерия поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|