Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы
|
|
| Creator |
Береснев, В.М.
Погребняк, А.Д. Соболь, О.В. Грудницкий, В.В. Турбин, П.В. Колесников, Д.А. Толмачева, Г.Н. |
|
| Description |
Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты (Zr, Ti)N твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Размер кристаллитов изменяется в исследуемом интервале рабочих давлений незначительно и находится в области 60 ÷70 нм. Твердость полученных покрытий составила 37 ГПа. В случае системы (Ti-Hf-Si)N формируется наноструктурная фаза µ-TiN с квазиаморфными фазами α-Si₃N₄ и HfSi₂ -nc. Максимальное значение твердости составляет Н = 42,7 ± 7 ГПа. Наведено результати експериментальних досліджень про вплив фізико-технологічних параметрів процесу осадження на формування покриттів (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N з сепарованого потоку металевої плазми. Для системи (Ti-Zr-Si)N виявлені кристаліти (Zr, Ti) N твердого розчину на основі кубічної решітки типу NaCl. Розмір кристалітів змінюється у досліджуваному інтервалі робочих тисків незначно і перебуває в області 60 ÷ 70 нм. Твердість отриманих покриттів складає 37ГПа. У випадку системи (Ti-Hf-Si)N формується наноструктурна фаза ε-TiN з квазіаморфнимі фазами α-Si₃N₄ і HfSi₂-nc. Максимальне значення твердості становить Н = 42,7 ± ГПа. The results of experimental studies on the impact of physical and technological parameters of the deposition process on the formation of coatings (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N from the stream of separated metal plasma. For the system (Ti-Zr-Si)N crystallites identified (Zr,Ti) N solid solution based on cubic lattice type of NaCl. The size of the crystallites varies in the range of operating pressures is insignificant and is in the range 60 ÷ 70 nm. The hardness of the coatings was 37 GPa. In the case of the system (Ti-Hf-Si) N phase is formed nanostructed ε-TiN phase with quasi α-Si₃N₄ and HfSi₂-nc. The maximum hardness is H = 42,7 ± 7 GPa. |
|
| Date |
2016-04-18T17:54:16Z
2016-04-18T17:54:16Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)n и (Ti-Hf-Si)n, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь3, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 2. — С. 124–129. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98870 621.793 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Физическая инженерия поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|