Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату
|
|
| Creator |
Куровець, В.В.
Федорів, В.Д. Яремій, І.П. |
|
| Description |
Проведено вимірювання мікротвердості монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату різних товщин як неімплантованих, так і модифікованих бомбардуванням іонами гелію (Е = 100 кеВ, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Встановлено, що мікротвердість плівок залізо-ітрієвого ґранату із збільшенням товщини плівки зростає. Показано наявність мінімуму (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /см² ) на залежності виміряної величини мікротвердості плівок залізо-ітрієвого ґранату від дози опромінення іонами гелію.
Проведены измерения микротвердости монокристаллических пленок железо-иттриевого граната разных толщин как неимплантированных, так и модифицированных бомбардированием ионами гелия (Е = 100 кэВ, D = 1•10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ см⁻²). Установлено, что микротвердость пленок железо-иттриевого граната с увеличением толщины пленки возрастает. Показано наличие минимума (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /см² ) на зависимости измеренной величины микротвердости пленок железо-иттриевого граната от дозы облучения ионами гелия The results of microhardness measurements of various thicknesses nonimplanted and implanted by helium ions E = 100 keV, D = 1⋅10¹⁵ – 1⋅10¹⁶ ion/cm² single crystalline YIG films are represented. It is set that microhardness of YIG films increases with the increase of film thickness. The presence of a minimum (D = 2⋅10¹⁵ Не⁺ /сm² ) on the dose dependence of measured values microhardness of helium implanted YIG films is performed. Remove selected |
|
| Date |
2016-04-19T14:43:25Z
2016-04-19T14:43:25Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Мікротвердість імплантованих іонами гелію монокристалічних плівок залізо-ітрієвого ґранату / В.В. Куровець, В.Д. Федорів, І.П. Яремій // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 47–51. — Бібліогр.: 14 назв. — укр.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98928 548.55:53.091 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Физическая инженерия поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|