Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм
|
|
| Creator |
Бугаев, Е.А.
|
|
| Description |
Рассмотрены проблемы синтеза, аттестации и термической обработки периодических многослойных рентгеновских зеркал Со/С. Описан метод согласования отражения рентгеновского излучения в пределах полной апертуры двухзеркальной оптической системы-объектива Шварцшильда. Показано, что, установка диафрагмы между источником и сферической подложкой и перемещение подложки с ускорением обеспечивают необходимое распределение периода многослойного покрытия вдоль поверхности зеркал. Розглянутi проблеми синтезу, атестації і термічної обробки періодичних багатошарових рентгенівських дзеркалСо/С. Описаний метод узгодження відбиття рентгенівського випромінювання в межах повної апертури дводзеркальної оптичної системи-об’єктива Шварцшильда. Показано, що встановлення діафрагми між джерелом і сферичною підкладкою та переміщення підкладки з прискоренням забезпечують необхідний розподіл періоду багатошарового покриття вздовж поверхні дзеркал. Synthesis, testing and thermal annealing of the Co/C multilayer x-ray mirrors have been considered. The method of matching the reflection of x-rays in the clear aperture of the two-mirror Schwarzschild system has been proposed. It has been shown that applying of a shadow mask between the magnetron sources and substrate with its accelerated moving provides necessary period distribution along the mirror surface. |
|
| Date |
2016-04-19T14:56:52Z
2016-04-19T14:56:52Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Особенности формирования многослойных наноразмерных покрытий Со/С при создании рентгеновской изображающей системы работающей на длине волны I = 4,86 нм / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 1. — С. 59–67. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98930 539.234; 538.971; 621.793.182 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Физическая инженерия поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|