Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
|
|
| Creator |
Погребняк, А.Д.
Мухаммед, А.К.М. Иващенко, М.Н. Опанасюк, Н.Н. Суджанская, И.В. |
|
| Description |
Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных исследований определено, что данные пленки имели преимущественную текстуру роста (002). Также проведены экспериментальные исследования частотно-емкостной зависимости. Досліджені структурні властивості плівок оксиду цинку та нітриду алюмінію, їх морфологія поверхні. За результатами досліджень встановлено, що плівки формуються високотекстурованими з хорошою адгезією до підкладки. У результаті рентгеноструктурних досліджень визначено, що дані плівки мали переважну текстуру росту (002). Також проведені експериментальні дослідження частотно-ємнісноїзалежності. Were investigated structural properties of zinc oxide and aluminium nitride films, their surface morphology. As a result of investigations it was estimated that films were high-textured and had a well adhesion to substrate. As a result of X-ray investigations it was determined that these films had a preference texture as (002). There are also carried out experimental investigations of such characteristics, as frequency-capacity dependence. |
|
| Date |
2016-04-19T15:38:28Z
2016-04-19T15:38:28Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления / А.Д. Погребняк, А.К.М. Мухаммед, М.Н. Иващенко, Н.Н. Опанасюк, И.В. Суджанская // Физическая инженерия поверхности. — 2012. — Т. 10, № 2. — С. 177–182. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98945 538.975 (043.3) |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Физическая инженерия поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|