Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов
|
|
| Creator |
Валиев, К.А.
Маишев, Ю.П. Шевчук, С.Л. |
|
| Date |
2016-06-08T10:35:39Z
2016-06-08T10:35:39Z 2003 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Реактивный ионно-лучевой синтез тонких плёнок непосредственно из пучков электронов / К.А. Валиев, Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 27-33. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101835 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Физическая инженерия поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|