Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
|
|
| Creator |
Lisovskiy, V.A.
Booth, J.-P. |
|
| Date |
2016-06-08T10:36:46Z
2016-06-08T10:36:46Z 2003 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge / V.A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 34-36. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101836 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Физическая инженерия поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|