Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация
|
|
Creator |
Белоус, В.А.
Лапшин, В.И Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. |
|
Date |
2016-06-08T10:47:59Z
2016-06-08T10:47:59Z 2003 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Радиационные технологии модификации поверхности. I. Ионная очистка и высокодозовая имплантация / В.А. Белоус, В.И Лапшин, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101838 |
|
Language |
ru
|
|
Relation |
Физическая инженерия поверхности
|
|
Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|