Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
|
|
| Creator |
Соболь, О.В.
Андреев, А.А. Григорьев, С.Н. Волосова, М.А. Столбовой, В.А. Фильчиков, В.Е. Киданова, Н.В. Антоненкова, Г.В. Черкасова, Н.Ю. |
|
| Subject |
Металлические поверхности и плёнки
|
|
| Description |
Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий.
Встановлено закономірності впливу неґативного потенціалу зміщення, який подається на підложжя під час осадження, з абсолютною величиною у 5—230 В при двох робочих тисках азотної атмосфери у 2∙10⁻³ і 5∙10⁻³ торр на зміни фазового складу, структури, субструктурних характеристик та напружено-деформованих станів вакуумно-дугових TiN-покриттів. Regularities of changes in the phase composition, structure, substructure characteristics and stressedly deformed states of TiN-coating, depending on a negative bias potential with absolute values of 5—230 V applied to the substrate under two operating pressures of nitrogen atmosphere 2∙10⁻³ and 5∙10⁻³ Torr, are determined. |
|
| Date |
2016-07-02T18:03:43Z
2016-07-02T18:03:43Z 2013 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, В.А. Столбовой, В.Е. Фильчиков, Н.В. Киданова, Г.В. Антоненкова, Н.Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 943-951. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.
1024-1809 PACS numbers: 52.77.Dq, 61.05.cp, 68.55.jm, 81.07.Bc, 81.15.-z http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104167 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Металлофизика и новейшие технологии
|
|
| Publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
|
|