Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
|
|
| Creator |
Першин, Ю.П.
Севрюкова, В.А. Зубарев, Е.Н. Оберемок, А.С. Мельник, В.П. Романюк, Б.Н. Попов, В.Г. Литвин, П.М. |
|
| Subject |
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
|
|
| Description |
Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц.
Досліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової мікроскопії та масспектрометрії постйонізованих нейтральних частинок. The Mo/Si multilayer periodic structures are investigated by a small-angle X-ray diffraction, atomic-force microscopy, and secondary neutral mass spectrometry. |
|
| Date |
2016-07-06T15:21:27Z
2016-07-06T15:21:27Z 2013 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.
1024-1809 PACS numbers: 06.20.fb, 07.85.Fv, 68.37.Ps, 68.49.Sf, 68.55.Nq, 82.80.Ms http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/104262 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Металлофизика и новейшие технологии
|
|
| Publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
|
|