Наноструктуровані температурно- та вологочутливі сенсорні структури на основі шпінельної кераміки
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Наноструктуровані температурно- та вологочутливі сенсорні структури на основі шпінельної кераміки
Nanostructured temperature-humidity-sensitive sensor structures based on spinel ceramics |
|
| Creator |
Клим, Г. І.
Гадзаман, І. В. Шпотюк, О. Й. |
|
| Subject |
шпінель
товста плівка багатошарова структура spinel інтегрований сенсор thick film multilayer structure integrated sensor |
|
| Description |
Проаналізовано можливості одержання наноструктурованих температурно- та вологочутливих товстоплівкових структур на основі напівпровідникової та діелектричної кераміки різних хімічних складів Cu0,1Ni0,1Co1,6Mn1,2O4 (з p+-типом електричної провідності), Cu0,1Ni0,8Co0,2Mn1,9O4 (з p-типом електричної провідності) та діелектричної кераміки MgAl2O4 (і-тип). Показано, що температурночутливі товсті плівки мають чутливість на ділянці температур від 298 до 368 К, а вологочутливі – на ділянці відносних вологостей від 40 до 98 %. Одержані товстоплівкові структури можна успішно застосовувати для одержання інтегрованих температурно-, вологочутливих сенсорів моніторингу та контролю навколишнього середовища. Nanostructured temperature and humidity-sensitive thick-film structures based on spinel-type semiconducting and dielectric ceramics of different chemical composition Cu0,1Ni0,1Co1,6Mn1,2O4 (with p+-types of electrical conductivity), Cu0,1Ni0,8Co0,2Mn1,9O4 (with ptypes of electrical conductivity) and insulating (i-type) MgAl2O4 ceramics were fabricated and studied. It is shown that temperature-sensitive thick films possess sensitivity in the region from 298 to 358 K and humidity-sensitive thick films are sensitive from 40 to 98 %. Obtained thickfilm structures can be successfully applied for integrated temperature-humidity sensors of environmental monitoring and control. |
|
| Date |
2012-02-23T15:23:59Z
2012-02-23T15:23:59Z 2011 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Клим Г. І. Наноструктуровані температурно- та вологочутливі сенсорні структури на основі шпінельної кераміки / Г. І. Клим, І. В. Гадзаман, О. Й. Шпотюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2011. – № 708 : Електроніка. – С. 77–83. – Бібліографія: 18 назв.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/11541 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
Видавництво Львівської політехніки
|
|