Моделювання фізико-хімічних процесів росту кристалів твердого розчину InAs-GaAs
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Моделювання фізико-хімічних процесів росту кристалів твердого розчину InAs-GaAs
Simulation of physical and chemical processes of growing In-As-GaAs solid solution crystals |
|
Creator |
Большакова, І. А.
Кость, Я. Я. Макідо, О. Ю. Стецко, Р. М. Швець, О. В. Шуригін, Ф. М. |
|
Subject |
моделювання
твердий розчин мікрокристали арсенід індію арсенід галію solid solution modeling microcrystals indium arsenide gallium arsenide |
|
Description |
Виконано термодинамічне моделювання технологічних умов отримання мікро-кристалів InAs-GaAs за методом хімічних транспортних реакцій у хлоридній системі. Визначено рівноважний склад газової фази такої системи. Проведено кількісний розрахунок парціальних тисків компонентів газової фази досліджуваної системи. Визначені оптимальні технологічні режими вирощування мікрокристалів твердого розчину InAs-GaAs.галію. Thermodynamic modeling of technological conditions for obtaining InAs-GaAs microcrystals by the method of chemical transport reaction in chloride system was performed. Equilibrium composition of gas phase for such system was determined. Quantitative calculation of partial pressures of gas phase components for the studied system was performed. Optimal technological modes for growing InAs-GaAs solid solution microcrystals were determined. |
|
Date |
2012-02-20T15:27:17Z
2012-02-20T15:27:17Z 2011 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Моделювання фізико-хімічних процесів росту кристалів твердого розчину InAs-GaAs / І. А. Большакова, Я. Я. Кость, О. Ю. Макідо, Р. М. Стецко, О. В. Швець, Ф. М. Шуригін // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2011. – № 708 : Електроніка. – С. 99–104. – Бібліографія: 9 назв.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/11531 |
|
Language |
ua
|
|
Publisher |
Видавництво Львівської політехніки
|
|