Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
|
|
| Creator |
Зыков, А.В.
Дудин, С.В. Яковин, С.Д. |
|
| Description |
Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда.
Проведені експериментальні дослідження стаціонарних режимів, а також порогів згасання магнетронного розряду з керованим за величиною і топології магнітним полем. Запропоновано пояснення отриманих результатів на підставі просторово-усередненої моделі газового розряду з об’ємною іонізацією, адаптованої для магнетронного розряду. The experimental research of stationary regimes and extinction thresholds of magnetron discharge with controlled size and topology of the magnetic field lines has been carried out. An explanation of the obtained results basing on the space-averaged model of gas discharge with spatial ionization adapted for magnetron discharge is presented. |
|
| Date |
2016-11-14T18:27:40Z
2016-11-14T18:27:40Z 2015 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108726 533.9 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Физическая инженерия поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|