Структурно-фазовый состав в наноразмерных пленочных композициях CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (30 нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) после осаждения и после отжигов
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Структурно-фазовый состав в наноразмерных пленочных композициях CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (30 нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) после осаждения и после отжигов
|
|
| Creator |
Макогон, Ю.Н.
Павлова, Е.П. Сидоренко, С.И. Беддис, Г. Даниэль, М. Вербицкая, Т.И. Шкарбань, Р.А. Богданов, С.Е. |
|
| Description |
Методами фізичного матеріалознавства встановлено, що формування кристалічної скутерудитної фази CoSb₃ в нанорозмірній плівковій композиції (НПК) CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (30 нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) відбувається при осадженні на підкладку, нагріту вище 200 °С, і вмісті Sb більше 72% (am.), що менше, чим маємо із діаграми фазової рівноваги для масивного стану системи Co-Sb. Формування антимоніди CoSb₃ в НПК, осаджених на підкладку при кімнатній температурі, відбувається в інтервалі концентрацій Sb від 73,9 до 82,7% (am.) і при відпалах в інтервалі температур 200—500 °С.
|
|
| Date |
2017-03-06T19:17:09Z
2017-03-06T19:17:09Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Структурно-фазовый состав в наноразмерных пленочных композициях CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (30 нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) после осаждения и после отжигов / Ю.Н. Макогон, Е.П. Павлова, С.И. Сидоренко, Г. Беддис, М. Даниэль, Т.И. Вербицкая, Р.А. Шкарбань, С.Е. Богданов // Современные проблемы физического материаловедения: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2010. — Вип. 19. — С. 68-75. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
XXXX-0073 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/114352 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Современные проблемы физического материаловедения
|
|
| Publisher |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
|
|