Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига
|
|
Creator |
Костюкевич, Е.В.
Костюкевич, С.А. Шепелявый, П.Е. |
|
Description |
Рассмотрены пленки золота, которые наносили методом термического испарения в вакууме на полированные кварцевые подложки и подвергали термическому отжигу на воздухе в течение 30 мин в интервале температур 80–300 °С. Кристаллическую структуру полученных образцов исследовали методом дифракции рентгеновского характеристического излучения меди.
Gold films of the thickness 40 5 nm were deposited using the method of thermal evaporation in vacuum onto polished silica substrates and undergone to thermal annealing in air for 30 min within the temperature range 80-300 °C. The crystalline structure of these samples was studied using X-ray diffraction of the characteristic Cu K -line. |
|
Date |
2017-05-14T14:48:55Z
2017-05-14T14:48:55Z 2013 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Реконструкция поверхности поликристаллических пленок золота под влиянием температурного отжига / Е.В. Костюкевич, С.А. Костюкевич, П.Е. Шепелявый // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2013. — Вип. 48. — С. 121-129. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
0233-7577 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116735 539.23, 539.25 |
|
Language |
ru
|
|
Relation |
Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
|
|
Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|