Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification
|
|
Creator |
Pogrebnjak, A.D.
Borisyuk, V.N. Bagdasaryan, A.A. |
|
Description |
The modification of the surface structure of the hybrid coating TiN/Al₂O₃ with a low-energy high-current electron beam (NCEB) is performed. The surface roughness is considered as a function of beam current. Surfaces of the obtained samples are investigated within the two-dimensional multifractal detrended fluctuation analysis (MF-DFA). The multifractal spectrum of the surface is calculated as a quantitative parameter of the roughness. It is shown that with the increase of the beam energy, the surface become more regular and uniform.
Проаналiзовано процес модифiкацiї структури поверхнi гiбридного покриття TiN/Al₂O₃ пiд впливом низькоенергетичного сильнострумового електронного пучка. Шорсткiсть поверхнi розглянуто як функцiю струму пучка. Поверхнi отриманих зразкiв дослiджувались за допомогою двовимiрного мультифрактального флуктуацiйного аналiзу. Для кiлькiсного аналiзу змiни шорсткостi розрахована функцiя мультифрактального спектру. Показано, що зi збiльшенням енергiї пучка поверхня стає бiльш регулярною та рiвномiрною. |
|
Date |
2017-06-13T05:19:09Z
2017-06-13T05:19:09Z 2013 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al₂O₃ coating under high current electron beam modification / A.D. Pogrebnjak, V.N. Borisyuk, A.A. Bagdasaryan // Condensed Matter Physics. — 2013. — Т. 16, № 3. — С. 33803:1-8 . — Бібліогр.: 21 назв. — англ.
1607-324X PACS: 81.40.- z, 81.07.- b, 68.35.-p, 61.46.-w, 05.45.Df, 61.43.Hv DOI:10.5488/CMP.16.33803 arXiv:1310.1235 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120821 |
|
Language |
en
|
|
Relation |
Condensed Matter Physics
|
|
Publisher |
Інститут фізики конденсованих систем НАН України
|
|