Получение металлических пленов путем термолиза пентакарбонилгалогенидов ревния (I)
Електронний архів E-archive DonNTU – (Electronic archive Donetsk National Technical University)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Получение металлических пленов путем термолиза пентакарбонилгалогенидов ревния (I)
FABRICATION OF METAL FILMS BY THERMOLYSIS OF RHENIUM PENTACARBONYLHALOGENIDES |
|
| Creator |
Шаповал, А.Н.
Бобухов, Д.В. Штеменко, А.В. Shapoval A. Bobuhov D. Shtemenko A. |
|
| Description |
The methods of disposition rhenium coatings were studied. Features CVD processes for various classes of compounds were observed. Characteristics of thermal decomposition of compound Re(CO)5Вr were investigated by means of mass-spectrometric analysis. Optimum conditions for deposition film from metal rhenium were offered on the basis of literary data and performed results. Plant for deposition of rhenium by method CVD was offered. Deposition of metal rhenium coatings from gas phase was carried out on ceramic, metal and glass substrates. The analysis of the received samples was carried on. Изучены способы нанесения рениевых покрытий. Рассмотрены особенности CVD процессов для различных классов соединений. С помощью масс-спектрального анализа изучены особенности термического разложения соединения Re(CO)5Вr. На основании литературных данных и результатов проведенного анализа выбраны оптимальные условия нанесения пленки металлического рения. Предложена установка для нанесения рения методом CVD. Осаждение металлического рения проводилось из газовой фазы на керамические, металлические и стеклянные подложки. Проведен анализ полученных образцов. |
|
| Date |
2011-11-17T06:42:07Z
2011-11-17T06:42:07Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Наукові праці Донецького національного технічного університету. Серія: "Хімія і хімічна технологія". Випуск 134 - Донецьк: ДонНТУ, 2008. - С. 9-14.
546.719:621.793.1 http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/2168 |
|
| Language |
other
|
|
| Relation |
Хімія та хімічні технології;17
|
|
| Publisher |
Донецький національний технічний університет
|
|