Обоснование структуры и постановка требований к прибору измерения и контроля параметров микроклимата при производстве интегральных микросхем.
Електронний архів E-archive DonNTU – (Electronic archive Donetsk National Technical University)
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Обоснование структуры и постановка требований к прибору измерения и контроля параметров микроклимата при производстве интегральных микросхем.
|
|
Creator |
Баев, Р.Н.
Зори, А.А. |
|
Date |
2011-12-11T10:33:19Z
2011-12-11T10:33:19Z 2011 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
XI конференція аспірантів і студентів
http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/3189 |
|
Relation |
Автоматизація технологічних об'єктів та процесів. Пошук молодих.;108
|
|
Publisher |
Донецький національний технічний університет.
|
|