ПОЛУЧЕНИЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ПУТЕМ ТЕРМОЛИЗА ПЕНТАКАРБОНИЛГАЛОГЕНИДОВ РЕНИЯ(I)
Електронний архів E-archive DonNTU – (Electronic archive Donetsk National Technical University)
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
ПОЛУЧЕНИЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ПУТЕМ ТЕРМОЛИЗА ПЕНТАКАРБОНИЛГАЛОГЕНИДОВ РЕНИЯ(I)
|
|
Creator |
Шаповал, А.Н.
Бобухов, Д.В. Штеменко, А.В. |
|
Subject |
тугоплавкость
упругость рение термодеструкция |
|
Description |
Изучены способы нанесения рениевых покрытий. Рассмотрены особенности CVD процессов для различных классов соединений. С помощью масс-спектрального анализа изучены особенности термического разложения соединения Re(CO)5Вr. На основании литературных данных и результатов проведенного анализа выбраны оптимальные условия нанесения пленки металлического рения. Предложена установка для нанесения рения методом CVD. Осаждение металлического рения проводилось из газовой фазы на керамические, металлические и стеклянные подложки. Проведен анализ полученных образцов. |
|
Date |
2012-03-19T23:12:34Z
2012-03-19T23:12:34Z 2008-04-30 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Донбас-2020: наука і техніка . виробництву: Матеріали IV науково- практичної конференції. м. Донецьк, 27-28 травня 2008 р. – Донецьк, ДонНТУ Міністерства освіти і науки, 2008.- 597 с.
УДК 546.719:621.793.1 http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/9323 |
|
Publisher |
ДонНТУ
|
|