Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана
Електронний архів E-archive DonNTU – (Electronic archive Donetsk National Technical University)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана
Influence of ion bombardment of the substrate on the quality of the besieged titanium nitride films |
|
| Creator |
Бруяка, О.О.
Харлова, К. С. |
|
| Subject |
Ионая бомбардировка
bombarding ions шероховатость roughness массоперенос mass transfer дифрактограмма difraktogramma |
|
| Description |
Influence of the regimes of an ion bombarding substrate on quality besieged titanium nitride films is investigated. The rational time of the bombarding is defined.
Исследовано влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана. Определено рациональное время бомбардировки. |
|
| Date |
2012-04-06T11:11:21Z
2012-04-06T11:11:21Z 2011 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Бруяка О.О.,Харлова К.С.Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана//Materialу VII mezinárodni vêdecko – praktiká conference "Aplikovane vĕdecké novinky. – 2011" .Dil 7. Techniké vĕdy. Výstavba a ar-chitektura. Matematika. Fyzika.Výstavba a architektura.С. 41 – 43.
978-966-8736-05-6 http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/10835 |
|
| Language |
other
|
|
| Publisher |
Praha. Publishing House “Educa-tion and Science”
|
|