Физико-химический анализ процесса гидрирования тетрахлорида кремния
Електронний архів E-archive DonNTU – (Electronic archive Donetsk National Technical University)
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Физико-химический анализ процесса гидрирования тетрахлорида кремния
|
|
Creator |
Гончаров, Р.В.
|
|
Subject |
гидрирование
тетрахлорид кремния конверсия тетрахлорида кремния |
|
Description |
It is appropriate to develop methods to ensure the conversion of silicon tetrachloride to trichlorosilane. In the conversion technology used methods and high catalytic hydrogenation of SiCl4. and plasma-chemical methods.
Целесообразным является разработка методов, обеспечивающих конверсию тетрахлорида кремния в трихлорсилан. В технологии конверсии применяют методы каталитического и высокотемпературного гидрирования SiCl4. а также плазмохимические методы. |
|
Date |
2014-04-25T12:03:23Z
2014-04-25T12:03:23Z 2013 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Металлургия XXI столетия глазами молодых / Материалы Всеукраинской научно-практической конференции студентов. - Донецк: ДонНТУ, 2013. - 217 с.
http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/26097 |
|
Language |
other
|
|
Publisher |
ДонНТУ
|
|