Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
|
|
Creator |
Осинский, В.И.
Олексенко, П.Ф. Палагин, А.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.В. Бондаренко, В.М. Николаенко, Ю.Е. Вербицкий, В.Г. Воронько, А.А. Бобженко, С.В. Мержвинский, А.А. |
|
Subject |
Техническая политика
|
|
Description |
Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника.
The results of the authors long-standing researchs by the application of gas-phase, molecular-beam and mixed epitaxy from gas source. |
|
Date |
2017-07-17T14:36:30Z
2017-07-17T14:36:30Z 1999 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122680 |
|
Language |
ru
|
|
Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|