Запис Детальніше

Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС

Vernadsky National Library of Ukraine

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС
 
Creator Осинский, В.И.
Олексенко, П.Ф.
Палагин, А.В.
Зубарев, В.В.
Луговский, В.В.
Бондаренко, В.М.
Николаенко, Ю.Е.
Вербицкий, В.Г.
Воронько, А.А.
Бобженко, С.В.
Мержвинский, А.А.
 
Subject Техническая политика
 
Description Представлены результаты многолетних исследований авторов по применению газофазной, молекулярно-лучевой и комбинированной эпитаксии из газового источника.
The results of the authors long-standing researchs by the application of gas-phase, molecular-beam and mixed epitaxy from gas source.
 
Date 2017-07-17T14:36:30Z
2017-07-17T14:36:30Z
1999
 
Type Article
 
Identifier Проблемы интеграции структур гетероэлектроники с кремниевыми ИС / В.И. Осинский, П.Ф. Олексенко, А.В. Палагин, В.В. Зубарев, В.В. Луговский, В.М. Бондаренко, Ю.Е. Николаенко, В.Г. Вербицкий, А.А. Воронько, С.В. Бобженко, А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 3-17. — Бібліогр.: 71 назв. — рос.
2225-5818
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122680
 
Language ru
 
Relation Технология и конструирование в электронной аппаратуре
 
Publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України