Микроскоп МКИ-2М
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Микроскоп МКИ-2М
|
|
| Subject |
Научно-промышленные центры СНГ
|
|
| Description |
Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном поле отраженного света при разработке технологических процессов, в лабораторной практике и для массовых контрольных операций внешнего вида изделий при производстве ИС.
|
|
| Date |
2017-07-17T14:52:54Z
2017-07-17T14:52:54Z 1999 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122690 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|