Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
|
|
| Subject |
Научно-промышленные центры СНГ
|
|
| Description |
Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов — путем лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения.
|
|
| Date |
2017-07-17T14:57:28Z
2017-07-17T14:57:28Z 1999 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122692 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|