Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин
|
|
| Creator |
Добровольский, Ю.Г.
|
|
| Description |
Метод и оборудование для его реализации позволяют проводить контроль полупроводниковой пластины и отдельных ее участков.
The method and equipment for its realization allow to carry out control of semiconductor wafer and individual its sites. |
|
| Date |
2017-07-19T12:42:05Z
2017-07-19T12:42:05Z 1999 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин / Ю.Г. Добровольский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 5-6. — С. 22-24. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122734 Качество и надежность аппаратуры |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|