Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
|
|
| Creator |
Макогон, Ю.Н.
Сидоренко, С.И. Шкарбань, Р.А. |
|
| Subject |
Металлические поверхности и плёнки
|
|
| Description |
Изучено влияние температуры подложки и среды отжига (вакуум или атмосфера азота) на формирования фазового состава и структуры наноразмерных плёнок CoSbх (30 нм) (1,8 ≤ х ≤ 4,2) с концентрацией Sb от 65 ат.% до 81 ат.%.
Вивчено вплив температури підкладинки та середовища відпалу (вакуум або атмосфера азоту) на формування фазового складу та структури нанорозмірних плівок CoSbх (30 нм) (1,8 ≤ х ≤ 4,2) з концентрацією Sb від 65 ат.% до 81 ат.%. Effect of both the substrate temperature and the annealing atmosphere (vacuum or nitrogen atmosphere) on the formation of the phase composition and structures in nanoscale CoSbх films (30 nm) (1.8 ≤ х ≤ 4.2) with concentration of Sb from 65 at.% to 81 at.% is investigated. |
|
| Date |
2017-10-28T14:03:12Z
2017-10-28T14:03:12Z 2017 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов / Ю.Н. Макогон, С.И. Сидоренко, Р.А. Шкарбань // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 5. — С. 677-691. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.
1024-1809 DOI: 10.15407/mfint.39.01.0677 PACS numbers: 68.37.Ps, 68.55.Nq, 68.60.Dv, 73.50.Lw, 82.80.Yc, 84.60.Rb, 85.80.Fi http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125497 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Металлофизика и новейшие технологии
|
|
| Publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
|
|