Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
|
|
| Creator |
Олиховский, С.Й.
Белова, М.М. Кочелаб, Е.В. |
|
| Description |
В обзоре описаны основные результаты многочисленных прямых наблюдений образования микродефектов (преципитатов кислорода и дислокационных петель) в кристалле кремния при его выращивании и термообработках. Кратко изложены термодинамические представления об образовании частиц новой фазы в пересыщенном твердом растворе кислорода в кремнии. Представлены классические подходы к описанию кинетики преципитации кислорода. Описаны современные модели кинетики роста и распада преципитатов и дислокационных петель в кремнии.
В обзорі наведено основні результати численних прямих спостережень утворення мікродефектів (преципітатів кисню та дисльокаційних петель) у кристалі кремнію при його вирощуванні та термообробках. Коротко подано термодинамічні уявлення про утворення частинок нової фази у перенасиченому твердому розчині кисню у кремнії. Представлено клясичні підходи до опису кінетики преципітації кисню. Описано сучасні моделі кінетики росту і розпаду преципітатів та дисльокаційних петель у кремнії. In the review, the main results of numerous direct observations of microdefects’ formation (oxygen precipitates and dislocation loops) in a silicon crystal during its growth and heat treatments are described. Thermodynamic conceptions concerning formation of new-phase particles in the supersaturated solid solution of oxygen in silicon are briefly presented. Classical approaches to the description of oxygen-precipitation kinetics are represented too. Modern models of kinetics of growth and decomposition of precipitates and dislocation loops in silicon are described. |
|
| Date |
2017-11-04T13:55:15Z
2017-11-04T13:55:15Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах / С.Й. Олиховский, М.М. Белова, Е.В. Кочелаб // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 3. — С. 135-171. — Бібліогр.: 81 назв. — рос.
1608-1021 PACS: 61.72. Bb, 61.72. Cc, 61.72.Jj, 61.72.Yx, 64.60.Qb, 82.60.Nh, 82.60.Qr DOI: https://doi.org/10.15407/ufm.07.03.135 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125801 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Успехи физики металлов
|
|
| Publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
|
|