Запис Детальніше

Електронний науковий архів Івано-Франківського національного технічного університету нафти і газу

Переглянути архів Інформація
 

Metadata

 
Поле Співвідношення
 
Title Установка для вимірювання величини та розподілу поверхневого потенціалу Si - пластин методом контактної різниці потенціалів
 
Names Волощук, А. Г.
Білоголовка, В. Т.
Date Issued 2002 (iso8601)
Abstract Описана установка неруйнівного контролю якості фізико-хімічного стану поверхні напівпровідників, шляхом вимірювання поверхневого потенціалу. Приведені функціональна схема і технічні характеристики установки. Викладено вибіркові результати, що відображують вплив хімічних обробок на величину поверхневого потенціалу Si-пластин.
Genre Article
Identifier Установка для вимірювання величини та розподілу поверхневого потенціалу Si - пластин методом контактної різниці потенціалів / А. Г. Волощук, В. Т. Білоголовка // Методи та прилади контролю якості. - 2002. - № 8. - С. 44-46.