Електронний науковий архів Івано-Франківського національного технічного університету нафти і газу
Переглянути архів ІнформаціяMetadata
| Поле | Співвідношення |
| Title | Метрологічний аналіз та метрологічне забезпечення атомно-силової мікроскопії |
| Names |
Надорожняк, Х. О.
Витвицька, Л. А. Литвин, О. С. Литвин, П. М. Середюк, О. Є. Прокопенко, І. В. |
| Date Issued | 2011 (iso8601) |
| Abstract | Обгрунтовано необхідність розроблення та впровадження стандартів щодо метрологічного забезпечення скануючих зондових мікроскопів як найбільш перспективних засобів вимірювальної техніки в області нанотехнологій та їх використання при сертифікаційних, контрольних, інспекційних випробуваннях. Проведено метрологічний аналіз атомно-силового мікроскопа NanoScope IIIa Dimension 3000, розроблена його метрологічна модель та методика і засоби його калібрування. На основі експериментальних даних визначені розкиди значень геометричних параметрів поверхонь у нанометровому діапазоні 3D-вимірювань, викликані впливом різних джерел невизначеності. |
| Genre | Article |
| Topic | атомно-силовий мікроскоп |
| Identifier | Метрологічний аналіз та метрологічне забезпечення атомно-силової мікроскопії / Х. О. Надорожняк, Л. А. Витвицька, О. С. Литвин [та ін.] // Методи та прилади контролю якості. - 2011. - № 26. - С. 77-84. |