| Abstract |
Дисертацію присвячено дослідженню питань, пов'язаних з підвищенням точності вимірювання параметрів зони розплаву при контролі електронно-променевої безтигельної зонної плавки. Створена математична модель формування поля яскравості зони розплаву при наявності перевідбиття випромінювання в вакуумній камері, на базі якої розроблені методика оцінки похибки вимірювання температури та метод підвищення точності вимірювання температури. Для підвищення точності вимірювання висоти зони розплаву створено метод виділення контуру зображення, який базується на експериментально встановлених закономірностях формування поля яскравості в межах фазового переходу. Розроблені методика. пристрій та та програмне забезпечення для експериментального дослідження розподілу яскравості поверхні зони розплаву на різних режимах плавки. Експериментально отримані функції розподілу яскравості та температури на поверхні зони розплаву. Встановлено, що функція розподілу температури по висоті зони розплаву несиметрична. При цьому збільшення швидкості переміщення зони розплаву приводить до збільшення температурного градієнту на поверхні рідкої фази. Отримані результати впроваджено в дослідну технологію зонної плавки кремнію. |
